|
УТВЕРЖДЕНЫ Постановлением Госгортехнадзора СССР 26. 11. 82 №31 |
УТВЕРЖДЕНЫ Министерством цветной металлургии СССР 23. 09.82 №НЧ-13917/23 |
|
СОГЛАСОВАНЫ с Госстроем СССР 16.08.82 № АБ-4609-20/2 |
СОГЛАСОВАНЫ с ЦК профсоюза рабочих металлургической промышленности 11.05.82№02-ЛА-19 |
Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов
(германия и кремния)
МОСКВА
"МЕТАЛЛУРГИЯ" 1984
ПРЕДИСЛОВИЕ
Настоящие Правила разработаны Государственным ордена Октябрьской Революции научно-исследовательским и проектным институтом редкометаллической промышленности "Гиредмет".
Правила разработаны на основе опыта проектирования и эксплуатации предприятий по производству полупроводниковых материалов - германия и кремния. При разработке Правил учтены замечания и предложения предприятий и организаций Минцветмета СССР и органов гос -гортехнадзора.
В Правилах изложены требования по безопасности, специфичные для производств полупроводниковых материалов германия и кремния.
Глава 1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ
1.1. Настоящие правила распространяются на предприятия ( цехи , отделения) по производству полупроводниковых материалов ( германия и кремния). На указанные предприятия (цехи, отделения) распространяются также Общие Правила безопасности для предприятий и организаций металлургической промышленности. На цехи и отделения пред -приятии, где расположены взрыво-пожароопасные химические производства, кроме того, распространяются требования Правил безопасности во взрывоопасных и взрывопожароопасных химических и нефтехимических производствах.
1.2. Проектирование, строительство и реконструкция предприятий (цехов, отделений) по производству полупроводниковых материалов должны производиться в соответствии со строительными нормами и правилами, утвержденными Госстроем СССР, нормами технологического проектирования, согласованными с Госстроем СССР, и соответству-ющими государственными стандартами. Проекты должны быть утверждены в установленном порядке.
1.3. Вносить изменения в конструкцию основного оборудования или в технологические схемы без согласования с проектной организацией или заводом-изготовителем запрещается.
1.4. Порядок и сроки приведения действующих цехов и отделений в соответствие с требованиями настоящих Правил определяются руководителями предприятий по согласованию с местными органами госгор-технадзора и технической инспекцией труда.
1.5. Требования, содержащиеся в настоящих Правилах, не освобождают администрацию предприятий и организаций от принятия дополнительных мер по обеспечению безопасных и здоровых условий труда на производстве.
1.6. Все действующие производства предприятий по производству германия и кремния должны иметь следующие инструкции, утвержденные главным инженером предприятия:
а) технологические (рабочие инструкции);
б) по безопасности труда для рабочих каждой профессии;
в) по ремонту и очистке оборудования;
г) должностные инструкции для инженерно-технических работников.
1.7. Инструкции по безопасности труда должны быть разработаны с соблюдением требований технологических инструкций, настоящих Правил и с учетом требований производственной санитарии и соответствующих стандартов ССБТ.
1.8. В случае изменения технологических процессов или схем коммуникаций или применения новых видов оборудования до внедрения из -менений в производство в действующие инструкции должны быть внесены соответствующие коррективы, утвержденные главным инженером предприятия.
1.9. Для вводимых в действие новых производств научно-исследовательскими и проектными институтами или другими организациями , внедряющими эти производства, должны быть разработаны и утверждены главным инженером предприятия временные инструкции, обеспечи -веющие безопасное ведение технологических процессов и безопасную эксплуатацию оборудования.
1.10. Инструкции по безопасности труда должны пересматриваться не реже одного раза в три года. В случае возникновения аварий или травмирования работающих из-за несовершенства инструкций они должны быть пересмотрены в сроки, установленные комиссией, расследовавшей несчастный случай или аварию.
1.11. Инструкции по безопасности труда и рабочие инструкции должны находиться в комнате мастера соответствующего участка, а схемы коммуникаций вывешены на рабочих местах.
1.12. Рабочие и инженерно-технические работники, принимаемые в цехи (отделения) по производству кремния и германия, должны проходить предварительное, а работающие - периодическое медицинское освидетельствование в соответствии с Инструкцией по проведению обязательных предварительных при поступлении на работу и периодичес -ких медицинских осмотров трудящихся, утвержденной Министерством здравоохранения СССР.
1.13. Инженерно-технические работники и рабочие, поступающие на работу в цехи (отделения) по производству кремния и германия, а также командированные, учащиеся и студенты, прибывшие на производственное обучение или практику, должны пройти вводный инструктаж в в кабинете охраны труда или в специально оборудованном помещении по программе, разработаннбй с учетом требований стандартов ССБТ , а также всех особенностей производства и утвержденной главным инженером предприятия.
1.14. О проведении инструктажа должна быть сделана запись в журнале регистрации вводного инструктажа(личной карточке инструктажа). В журнале (карточке) должны расписываться лица, прошедшие инструктаж, и лицо, проводившее его.
1.15. Руководящие и инженерно-технические работники при поступлении на работу, связанную с проектированием, строительством (монтажом) и эксплуатацией цехов (отделений) по производству германия и кремния, должны перед допуском к самостоятельной работе сдать экзамен на знание настоящих Правил в объеме выполняемой ими работы.
1.16. Руководящие и инженерно-технические работники, ,связанные с эксплуатацией, кроме того, должны сдать экзамен на знание инструкций по безопасности труда, технологических и других инструкций относящихся к участкам их работы. Такие же экзамены инженерно -технические работники должны сдавать при переходе в цехе с одной работы на другую.
1.17. Периодичность и порядок проверки знания Правил и инструкций по безопасности труда руководящими и инженерно-техническими работниками должны соответствовать Положению о проверке знаний Правил, норм и инструкций по технике безопасности руководящими и инженерно-техническими работниками, утвержденному Минцветметом СССР.
1.18. Инженерно-технические работники, допустившие нарушение Правил или инструкций по безопасности труда, должны проходить внеочередную проверку знаний.
1.19. Все рабочие, вновь принятые в цехи (отделения) по произ -водству германия и кремния или переведенные из одного цеха в дру -гой, а также учащиеся и студенты, указанные в п. 1. 13 настоящих Правил, перед допуском к работе должны непосредственно на рабочем месте получить у мастера или начальника участка инструктаж по бе -зопасным методам работы.
1.20. Рабочие, не имеющие производственной специальности или меняющие свою специальность, а также учащиеся и студенты после прохождения первичного инструктажа на рабочем месте должны в те -чение первых 6 - 1О смен пройти обучение безопасным методам работы под руководством назначенных распоряжением по цеху опытных рабочих и инженерно-технических работников. Это обучение должно производиться по программам, утвержденным главным инженером пред -приятия.
По истечении срока обучения рабочие, студенты и учащиеся должны пройти проверку знаний в комиссии под председательством начальника цеха или его заместителя. Результаты проверки должны оформляться протоколом.
К самостоятельной работе указанные рабочие допускаются только после обучения их по специальности в соответствии с Положением о профессиональном обучении и повышении квалификации рабочих на про изводстве, разработанным и утвержденным Минцветметом СССР н а основе Типового положения о профессиональном обучении рабочих на производстве, утвержденного Госкомитетом СССР по труду и социальным вопросам, Госкомитетом СССР по профессионально-техническому образованию и ВЦСПС.
1.21. Рабочие, вновь принятые или переведенные из одного цеха в другой на работу по своей специальности, допускаются к самостоя -тельной работе после получения ими инструктажа и проверки знаний по безопасности труда в порядке, предусмотренном в п. 1.19 и 1.20 настоящих Правил.
1.22. Повышение производственной квалификации рабочих должно производиться в соответствии с Положением, указанным в п. 1.20 настоящих Правил.
1.23. Рабочие цехов (отделений) по производству кремния и германия должны не реже чем через каждые три месяца проходить повторный инструктаж по безопасности труда. Рабочие, совмещающие несколько профессий, проходят инструктаж по каждой профессии.
1.24. Внеплановый инструктаж по безопасности труда должен проводиться в случаях:
а) ввода в действие новых или переработанных в установленном порядке инструкций по безопасности труда:
б) нарушения рабочими инструкций по безопасности труда;
в) перевода на временную работу, требующую дополнительных знаний;
г) перерывов в работе более чем 30 календарных дней.
1.25. Данные о проведении инструктажей (первичного, повторного и внепланового) должны заноситься в журнал регистрации инструктажа на рабочем месте (личную карточку инструктажа). В журнале (.карточке) расписываются рабочий, прошедший инструктаж, и лицо, проводившее его, с указанием наименования инструкции, по которой был проинструктирован рабочий.
1.26. Рабочие цехов (отделений) по производству германия и кремния должны не реже одного раза в год проходить проверку знания инструкций по безопасности труда в комиссиях, назначаемых главным инженером предприятия. Результаты проверки должны заноситься в журнал регистрации инструктажа на рабочем месте (личную карточку инструктажа).
1.27. Если комиссия установит, что рабочий неудовлетворительно знает инструкции, он должен получить дополнительный инструктаж и не позднее чем через 20 дней пройти повторную проверку знаний. Если при повторной проверке знания проверяемого окажутся неудовлетво -рительными, он должен быть отстранен от работы по данной профессии.
|
1.28. Инженерно-технические работники и рабочие, связанные с эксплуатацией грузоподъемных машин, сосудов, работающих под давлением, и других объектов, подконтрольных органам госгортехнадзора, проходят обучение и допускаются к работе Тетрахлорсилан (тетрахлорид кремния, четы-реххлористый кремний) |
SiCI4 |
Подвижная бесцветная жидкость с едким запахом. Температура кипения 56,8°С. Температура плавления минус 68°С. Плотность при 20°С 1,48 г/см3. ПДК 1 мг/м3. Класс опасности 2. |
Биологическое действие такое же, как у три-хлорсилана, но негорюч; пары невзрывоопасны |
|
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
Полихлориды кремния ( полихлорсиланы ) |
Смесь соедине ний Si2 C16 , Si3Cl8.SuClio |
Жидкие, вязкие, смолооб-разные вещества, легко гидролизуютея с выделением хлористого водорода. Данных по ПДК и классу опасности нет |
При попадании на тело человека действуют, как хлорсиланы. Пирофорны. Продукты гидролиза взрывоопасны |
При попадании на кожу смыть обильной струей воды. Глаза промыть 3 %-ным раствором питьевой соды |
|
Водород |
Н2 |
Бесцветный газ без запаха, горюч. Плотность 0,09 г/л. Относительная плотность 0,07. Нижний предел взрываемости с воздухом 4,09 % (объемн.). Верхний предел взрываемости с воздухом 80 % (объемн.). Температура самовоспламенения в смеси с воздухом 45О°С и зависит от состава смеси |
Биологически инертен, но снижает содержание кислорода в воздухе и может вызвать удушье. Взрывоопасен в смеси с воздухом, кислородом или хлором |
|
|
Хлор |
С1 |
Газ желто-зеленого цвета с резким запахом. При нормальном давлении сжижается при минус 34°С и затвердевает при минус 101°С. Относительная плотность 2,49. ПДК 1 мг/м . Класс опасности 2 |
Токсичен. Образует взрывоопасные смеси с горючими газами |
При отравлении вывести пострадавшего на свежий воздух, промыть глаза, полость носа и рта 2 %-ным раствором питьевой соды. Вызвать врача. Марка противогаза БКФ |
|
Азот |
N2 |
Бесцветный газ без запаха. Температура кипения минус 196°С. Относительная плотность 0, 97 |
Биологическое действие такое же, как у водорода. Жидкий азот вызывает ожоги |
При ожоге жидким азотом обратиться к врачу |
|
Хлористый водород |
НCL |
Бесцветный газ с резким запахом. Относительная плотность 0.7. Температура плавления минус 112C. Температура кипения минус 85°С. ПДК 5 мг/м3. Класс опасности 2 |
Вызывает раздражение и химический ожог глаз, слизистых оболочек, тканей легких |
Вывести пострадавшего на свежий воздух, промыть глаза, полость рта и носа 2 %-ным раствором питьевой соды. Противогаз марки БКФ или В |
|
Соляная кислота |
Раствор НС 1 вводе |
Бесцветная или желтоватая жид-вость. Концентрированная кислота "дымит" на воздухе. Плотность 37 %-ной кислоты 1,19 г/см3. ПДК 5 мг/м . Класс опасности 2 |
Биологическое действие паров кислоты такое же, как у хлористого водорода. Попадание кислоты на кожу и в глаза вызывает химический ожог |
Смыть кислоту обильной струей воды, затем промыть кожу и глаза 2 %-ным раствором питьевой соды. Для защиты глаз и органов дыхания противогаз марки В или БКФ |
|
Плавиковая кислота |
Раствор HF - в воде |
Бесцветная жидкость. Плотность 40 %-ной кислоты 1,13 г/см3. |
Выделяющийся HF, помимо раздражающего действия (как НС1 ), обладает ток- |
То же |
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
|
|
ПДК (по HF ) 0, 5 мг/м3. Класс опасности 2 |
сичным действием. Кислота при попадании на кожу вызывает трудно заживаемые ожоги |
|
|
Азотная кислота |
HNО3 |
Бесцветная жидкость, при хранении может желтеть. Плотность 25 %-ной кислоты 1,15 г/см3. ПДК и класс опасности определяются окислами азота. ПДК (в пересчете на N02 ) 5 мг/м . Класс опасности 2 |
При попадании на кожу вызывает химические ожоги. Пары ядовиты. Вызывает воспламенение горючих веществ |
То же |
|
Перекись водорода (пергидроль) |
Раствор Н2 О2 в воде (до 31%) |
Бесцветная жидкость. При концентрации 31 % плотность 1,465 г/см3 Температура плавления минус 0,89°С На свету и при нагревании разлагается с выделением кислорода |
Крепкие растворы (око-ло ЗО %) вызывают ожоги. Воспламеняет горючие вещества. При хранении в плотно закрытой посуде может вызвать ее взрыв (особенно на свету) |
При попадании на кожу и в глаза смыть обильной струей воды |
|
Щелочи |
КОН, NaOH |
Белые кристаллические вещества. При растворении в воде сильно разогревают ее, при этом может лопнуть стеклянная посуда, в которой растворяется щелочь |
Вызывают ожоги кожи. Особенно опасно попадание в глаза |
При попадании на кожу и в глаза смыть обильной струей воды (не менее 10 мин) , а затем сделать примочку: для кожи из 5 %-ной |
|
Известковое молоко |
Са(ОН)2 в воде |
Жидкость молочно-белого цвета |
При попадании на кожу вызывает сухость и растрескивание кожи. Разъедает глаза |
уксусной или соляной кислоты для глаз из 3 %-ного раствора борной кислоты. При измельчении щелочи использовать перчатки , респиратор, очки При попадании в глаза смыть обильной струей воды и промыть глаза 3 %-ным раствором борной кислоты |
|
Четыреххлористый углерод |
СС14 |
Бесцветная жидкость с характерным запахом. Плотность 1,6 г/см . Температура плавления минус 21°С. Температура кипения 76,7°С. ПДК 2О мг/м3. Класс опасности 2 |
Пары обладают наркотически отравляющим действием. При попадании на кожу сушит ее , вызывает дерматиты |
При попадании на кожу смазать ее смягчающим кремом. Для защиты от паров противогаз марки А или БКФ |
|
Ацетон |
СНзСОСНз |
Бесцветная жидкость со специфическим запахом. Плотность 0,79 г/см3. Температура плавления минус 95°С. |
То же |
То же |
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
|
|
Температура кипения 56 °С. ПДК 200 мг/м3. Класс опасности 4 |
|
|
|
Тетрахлорид германия ( четыреххлорис-тый германий) |
СеСI4 |
Бесцветная жидкость с едким запахом. Плотность 1,87 г/см 3 Температура плавления минус 49 °С. Температура кипения 83,1°С. ПДК (в пересчете на Се ) 1 мг/м3. Класс опасности 2 |
Сильно раздражает глаза, слизистые оболочки и верхние дыхательные пути . При попадании на кожу вызывает химический ожог |
При отравлении парами вывести пострадавшего в свежий воздух. При попадании жидкости в глаза и на кожу смыть сильной струей воды. Марка противогаза В или БКФ |
ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие ................................ 3
Глава 1. Общие положейия ...................... 4
Глава 2. Территория предприятия. Здания ............. 9
Глава 3. Вентиляция. Водопровод .................. 9
Глава 4. Расположение оборудования ................ 10
Глава 5. Содержание, осмотр, ремонт и чистка технологического оборудования ..................... . 10
Глава 6. Требования к электроустановкам ............. 11
Глава 7. Противопожарные требования ............... 11
Глава 8. Общие требования к безопасному ведению процессов
при производстве кремния и германия .......... 12
Глава 9. Производство кремния ................... 14
Хранение трихлорсилана и тетрахлорсилана на складе ..... 14
Общие требования при производстве кремния .......... 15
Синтез трихлорсилана ...................... 16
Очистка и конденсация хлорсиланов (трихлорсилана и тетрахлорсилана). ............................. 16
Очистка водорода от примесей ................ . . 17
Водородное восстановление хлорсиланов ............. 17
Очистка газовых выбросов, сточных вод и переработка отхо-дов производства .......................... 18
Производство монокристаллического кремния методом бестигельной зонной плавки ....................... 19
Производство монокристаллического кремния методом Чохраль-ского ................................. 20
Подготовка кремния и лигатуры к плавке и кристаллов кремния к металлографическим исследованиям ............ 21
Работа в аналитической лаборатории ............... 22
Глава 1О. Производство германия ................ . 22
Гидрометаллургический передел................... 22
Восстановление двуокиси германия ................ 23
Зонная очистка германия ...................... 24
Выращивание монокристаллов германия методом Чохральского, химическая и механическая обработка германия ....... . 24
Глава 11. Ответственность за нарушение правил безопасности. . 24
Справочный материал ....................... . 26